外形酷似瓷砖！京东方G10.5代线靶材批量应用

困扰国内ITO靶材企业已久的尺寸问题，近日获得突破：在市级科技重大项目“高世代面板用ITO靶材的研发及产业化”支撑下，坚持自主创新的广西晶联光电材料有限责任公司制造出的单片靶材，最大尺寸达到长1.325米、宽0.2米。产品已在京东方的G10.5代线(2.94米×3.37米玻璃面板)批量应用，助力京东方制造出65英寸、75英寸等超大尺寸液晶面板。

3月7日，记者在企业生产线看到，乌黑发亮的ITO靶材外形酷似瓷砖，可重量却是同尺寸瓷砖的好几倍，紧密如岩石。

该企业总经理黄誓成介绍，生产过程中，技术工人需把氧化铟和氧化锡粉末按严格比例混合，经过相关工艺流程制成地板砖的形状，再经过1500摄氏度高温烧结，才能形成黑灰色的陶瓷半导体。靶材尺寸越大，加工过程中越容易脆裂。目前车间已具备批量生产G10.5代线的靶材的能力。

据悉，ITO靶材用于制作液晶显示器、平板显示器、等离子显示器、触摸屏、电子纸、有机发光二极管，还应用于太阳能电池和抗静电镀膜、EMI屏蔽的透明传导镀膜等，在全球拥有广泛的市场。

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